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《会典事例·户部俸饷门·外官养廉类》首叙其缘起云：
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雍正五年，山西巡抚奏裁汰州县耗羨，酌中量留，分给各官养廉，以为日用之资。奉旨：“各省督抚，就该省情形酌议具奏。嗣据各省陆续奏到，节省增减，著为定额。”
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山西巡抚发端是二年事，奉各省酌议具奏之旨，当即七月乙未谕后，所云交与内阁，内阁即更请旨饬下各省也。以非明发，亦无决断，遂不入《实录》，故不见《东华录》。各省陆续覆到，终成定制，首冠以雍正五年，即其定制之年矣。不然，山西发端在二年，何云五年耶？
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要之清初沿明，官俸太薄，官无自给之道，不得不有所取资，制定养廉，即是加俸。且俸因处分而可罚，廉则罚所不及。廉之数较之俸，多至数十倍，如正、从一品俸银一百八十两，米一百八十斛；正、从二品俸银一百五十五两，米一百五十五斛。总督兼尚书衔者为从一品，不兼者为正二品。而总督养廉，多者若陕甘、云贵，至二万两；少者若浙闽、四川，亦一万三千两。其间一万八千、一万五千各有差。又如七品俸银四十五两，米四十五斛。而知县七品，其养廉多者，首县至二千两，少者简缺亦六百两，其有四五百两者，则简不成体之县，间有一二，盖例外矣。其后京官亦有有养廉者，八旗官员亦有有养廉者，皆别指款项，不在火耗之内。供各省官员养廉，地大粮多之县，火耗甚微。以吾所知，吾乡武进、阳湖等县，正银一两，加耗仅三分耳。
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清世制度，多沿明旧。清全盛时，极知补救，然不敢言制作，故历帝皆倾佩明太祖，奉行惟谨，而不敢学其自我作古，此亦或有自知之明。如官员加俸一事，仅以养廉之名补苴于俸之不足，仍不敢动额定之俸。惟加征火耗，悉数用于外官之养廉，无丝毫流用，则可见清帝于财用之致慎。既与国人约永不加赋，终清世谨守之。惟以用银翦凿不便，折价收钱，清末以二千二百文为一两。当时银贱，每两有数百文之余谓之平余。漕米则每年由藩司约省城绅士公议，照时定价，本折兼收，听民自便。惟每石征脚费钱一千零五十二文，由官收兑运解。此清末纲纪未破裂时所永遵行者。吾乡为赋重之区，每平原上则田一亩，征银两忙共一钱三分有零，征米六升三合有零。当时无所谓附加税，完纳此数，即所入皆民之生产矣。故清世之赋甚轻，其税额后虽不可复用，然其制节谨度，不敢逾定制一步，清之历朝遵行不替，其风亦可嘉也。
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其尤可念者，清一代惟加征火耗为迹近加赋，雍正朝之审慎出之，绝不流用，专用于外官之养廉，似已心安理得。乃至高宗初立，尚以为疑，复大征廷臣意见。此亦清之家法，视加派为最不祥之事也。
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《食货志》：
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自山西提解火耗后，各直省次第举行。其后又酌定分数，各省文职养廉二百八十余万两及各项公费，悉取诸此。及帝即位，廷臣多言其不便，帝亦虑多取累民，临轩试士即以此发问，复令廷臣及督抚各抒所见。大学士鄂尔泰、刑部侍郎钱陈群、湖广总督孙嘉淦皆言：“耗羡之制，行之已久，征收有定，官吏不敢多取，计已定之数与策定之前相较，尚不逮其半，是迹近加赋，实减征也。且火耗归公，一切陋习，悉皆革除，上官无勒索之弊，州县无科派之端，小民无重征之累，法良意美，可以垂诸久远。”御史赵青藜亦言：“耗羡归公，裒多益寡，宽一分则受一分之赐，且既存耗羨之名，自不得求多于正额之外，请无庸轻议变更。”惟御史柴潮生以为耗羡乃今日大弊。诏从鄂尔泰诸臣议。
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轻徭薄赋，为清一代最美之政，而官俸太薄，有此提解火耗、制定养廉之举。乾隆间尚恐其迹近加赋，而与内外诸臣共议之。《食货志》浑括甚略，今各举其事实如下。
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《东华录》乾隆七年四月乙未谕下注云：
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是月庚寅朔，策试天下贡士金等，制曰：上略。务民之本，莫要于轻徭薄赋，重农积谷。我国家从无力役之征，斯固无徭之可轻矣，而赋犹有未尽合于古者乎？赋之外有耗羡，此固古之所无也。抑亦古尝有之，不董之于官，则虽有若无，而今不可考耶？且康熙年间无耗羨，雍正年间有耗羡。无耗羡之时，凡州县莅任，其亲戚仆从，仰给于一官者不下数百人，上司之苛索，京官之勒助，又不在此限。而一遇公事，或强民以乐输，或按亩而派捐，业田之民，受其累矣。自雍正年间，耗羡归公，所为诸弊，一切扫除，而游民之借官吏以谋生者，反无以糊其口。农民散处田间，其富厚尚难于骤见；而游民喧阗城市，其贫乏已立呈矣。人之言曰：“康熙年间有清官，雍正年间无清官。”亦犹“燕赵无镈”，非无镈也，夫人而能为镈也。语出《考工记》，作“粤之无镈也”，不作“燕赵无镈”。下又云：“燕之无函也，秦之无庐也，胡之无弓车也。”各自为文。则此句作“燕赵无镈”有误。而议者犹訾征耗羡为加赋。而不知昔之分项，皆出于此而有余；今则日见其不足，且动正帑矣。是以徒被加赋之名，而公私交受其困而已矣。将天下之事，原不可以至清乎？抑为是言者，率出于官吏欲复公款者之口乎？多士起自田间，其必不出此，而于农民之果有无利弊，必知之详矣。其毋以朕为不足告，而之隐之；其尚以朕为可告，而敷之陈之。悉言其志，毋有所讳。
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其乙未谕：
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办理耗羡一事，乃当今之切务。朕夙夜思维，总无善策，是以昨日临轩试士，以此发问。意诸生济济，或有剀切敷陈，可备采择见诸施行者。乃诸贡士所对率皆敷衍成文，全无当于实事。想伊等草茅新进，未登仕籍，于事务不能晓彻，此亦无怪其然。今将此条策问发与九卿、翰林、科道阅看，伊等服官有年，非来自田间者可比，可悉心筹划，各抒所见，具折陈奏，候朕裁度。若无所见，亦不必勉强塞责。至外省督抚，寄重封疆，谅已筹算有素，并著各据所见，具折奏闻。务期毋隐毋讳，以副朕集思广益之意。
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此为临轩发问，不得要领，再征内外清要大僚意见之事实。是科一甲三人：金，状元，浙之仁和人；榜眼杨达曾，探花汤大绅，皆苏之阳湖人。一时羡科第之荣。其实廷对碌碌，无裨实用，此见科目之非必得才，而成才实资阅历，未必闭户读书真能知天下事也。既而言者纷然，又妄有揣摩，以为帝意求取民善法，除加赋而别计殖财，竟未信天子实有官民兼恤之心，只问火耗之当征不当征，非有他意，遂复遭申饬，而清一代慎重于加赋之意愈见。
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是月乙巳谕：
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各省办理火耗，朕恐有不便于民，是以于廷对时入于策问之内，乃诸生无所敷陈，甚且有不知耗羡为何事者。又降旨询问九卿、翰林、科道并督抚等，庶几合众论以求一是。此朕集思广益之意，诸臣如有所见即就事敷奏，待朕采择；如无所见，亦不必勉强塞责。所降谕旨甚明。乃近见诸臣奏对，竞有于耗羡一事之外，旁牵侧引，所答并非所问；即说到耗羡，亦究竟不知原委，万难见诸施行。甚至潘乙震之请开捐，路斯道之请铸币，尤为荒谬之极。诸臣沾沾以国用为言，竟似国用实有不足，不得不从权计议者。此风一开，将见言利之徒接踵而起，其为害甚大，岂止有妨政体而已。不但诸臣不当揣摩及此，陈奏纷纭，即专司钱粮之臣，惟应通计出入，平准制用，亦不当托言国计，徒以综核为尽职也。因系降旨询问导之使言，故虽乖谬，特从宽宥。此后再有节外生枝悖理伤道者，必从重治罪以为妄言之戒。
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于是廷臣商榷甚久，又逾半年以上，至十一月乙丑，由大学士等归纳内外诸臣覆到各奏，统为一议，奏略如下。
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奏略言：
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耗羡归公，法制尽善，不可复更，众议佥同。其间有一二异议者，皆系不揣事势不量出入之论。伏思耗羡由来已久，弊窦渐生，世宗宪皇帝允臣工所请，定火耗归公，革除州县一切陋习，各该省旧存火耗提解司库，为各官养廉及地方公事之用。从此上官无勒索，州县无科派，小民无重耗，以天下之财为天下之用，国家毫无所私，可以久远遵行，弗庸轻改。至总督高斌、孙嘉淦等请耗羡通贮藩库，令督抚察核，仍复年终报部之例。查各省动用存公银，款项繁多，若未悉情形，既行饬驳，势必掣肘。若竟听其任意费用，则侵滥之弊，无从剔除。惟送部查核，诸弊可厘，应如所请行。
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此为内外众议，覆由大学士取为定论，请定永远遵行。得旨略如下：
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钱粮有耗羡，事势必不得已。未归公以前，贤者兢兢守法，不肖者视为应得，尽入私囊。一遇公事，或强民输纳，或按亩捐派，无所底止。州县以上官员，养廉无出，收受属员规礼节礼，以资日用。州县有所借口，恣其贪婪，上官瞻徇而不敢过问，甚至以馈遗之多寡为黜陟之等差，吏治、民生，均受其弊。我皇考定归公之例，就该省旧收之数，归于藩司，酌给大小官员养廉，有余则为地方公事之用。小民止循旧有之章，有轻减无加益也。而办公有资，捐派不行，贤者无用矫廉，不肖不能贪取，爱养黎元，整饬官方，并非为国用计而为此举。以本地之出，供本地之用，国家并无所利于其间。然通天下计之，耗羡敷用之处，不过二三省，其余不足之处，仍拨正供以补之，此则臣民未必尽知者。此十数年中办理耗羡之梗概。朕御极以来，颇有言其不便者，是以留心体察，并于今年廷试，以此策问诸生，诸生敷衍成文，无当实事，于是降旨询问九卿、翰林、科道并各省督抚。今据回奏，大抵以官民相安已久，不宜复议更易，其中偶有条陈一二事者，不过旁枝末节，无关耗羡归公本务。朕再四思维，州县所入既丰，可以任意挥霍；上司养廉无出，可以收纳馈遗。至于假公济私，上行下效，又不待言矣。向朕所闻，未必不出于愿耗羨在下以济其私者之口。朕日以廉洁训勉臣工，今若轻更见行之例，不且导之使贪，重负我皇考惠民课吏之盛心乎？此事当从众议，仍由旧章，特颁谕旨，俾中外臣民知之。余著照大学士等所议行。
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于是火耗与正赋，并明载由单串票。养廉自督抚至杂职，皆有定额，因公办有差务，作正开销，火耗不敷，别支国库，自前代以来，漫无稽考之赡官吏，办差徭，作一结束。虽未能入预算、决算、财政公开轨道，而较之前代，则清之雍、乾可谓尽心吏治矣。因此事利弊复杂，再举当时赞否两方议论之工者作一比较，俾是非可了然焉。
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《史稿·钱陈群传》：
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及敕询州县耗羡，疏言：康熙间，州县官额钱粮，收耗羡一二钱不等。陆陇其知嘉定县，止收四分。清如陇其，亦未闻全去耗羡也。议者以康熙间无耗羡，非无耗羡也，特无耗羡之名耳。世宗出自独断，通计外吏大小员数酌定养廉，而以所入耗羡，按季支领，吏治肃清，民亦安业。特以有征报收支之令，不知者或以为加赋。皇上询及盈廷，臣请稍为变通，凡耗羨所入，仍归藩库，各官养廉及各州县公项，如应支给，其续增公用名色，不能画一，多寡亦有不同，应令直省督抚，明察某件应动正项，某件应入公用，分别报销。各省州县，自酌定养廉，荣悴不一，其有支给者，应令督抚确察量增，俾稍宽裕。仍饬勿得耗外加耗，以重累民。则既无加赋之名，并无全用耗羡办公之事。州县各有赢余，益知鼓励。