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二十一年（前226年），王贲攻打楚。秦王于是增派兵力前往支持王翦的军队，最终打败了燕国太子丹的军队，攻取燕都蓟城，得到太子丹的首级。燕王向东收拢辽东的残部而在那里称王。王翦称病告老回乡。新郑反叛。昌平君被迁到郢。天降大雪，积雪深达二尺五寸。
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二十二年（前225年），王贲攻打魏国，引黄河水淹灌大梁城，大梁城墙被水冲毁，魏王请求投降，秦国完全占领魏国的土地。
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二十三年（前224年），秦王再次召见王翦，坚持要任用他，派他去攻打楚国。秦军夺取陈县以南一直到平舆的土地，擒获楚王。秦王到郢陈巡游。楚将项燕立昌平君为楚王，在淮水以南反抗秦军。二十四年（前223年），王翦、蒙武进攻楚国，打败楚军，昌平君死去，项燕最终自杀。
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二十五年（前222年），秦国大举发兵，派王贲带兵，攻打燕国的辽东，擒获燕王喜。秦军掉头兵锋攻打代国，俘虏代王嘉。王翦最终平定了楚国的江南地区，降服越君，设置会稽郡。五月，秦王下令天下欢聚宴饮。
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二十六年（前221年），齐王建和他的相国后胜调发士兵防守齐国的西部边界，不与秦国往来。秦王派将军王贲从燕国以南攻打齐国，擒获齐王建。
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秦初并天下，令丞相、御史曰：“异日韩王纳地效玺，请为藩臣，已而倍约，与赵、魏合从畔秦，故兴兵诛之，虏其王。寡人以为善，庶几【庶几：或许。】息兵革。赵王使其相李牧来约盟，故归其质子。已而倍盟，反我太原，故兴兵诛之，得其王。赵公子嘉乃自立为代王，故举兵击灭之。魏王始约服入秦，已而与韩、赵谋袭秦，秦兵吏诛，遂破之。荆王献青阳以西，已而畔约，击我南郡，故发兵诛，得其王，遂定其荆地。燕王昏乱，其太子丹乃阴令荆轲为贼，兵吏诛，灭其国。齐王用后胜计，绝秦使，欲为乱，兵吏诛，虏其王，平齐地。寡人以眇miǎo眇【眇眇：渺小，自谦之词。眇，同“渺”。】之身，兴兵诛暴乱，赖宗庙之灵，六王咸伏其辜，天下大定。今名号不更，无以称成功，传后世。其议帝号。”丞相绾、御史大夫劫、廷尉斯等皆曰：“昔者五帝地方千里，其外侯服【侯服：九服之一，指王畿外五百里之地。】、夷服【夷服：九服之一，指王畿外三千五百里之地。】诸侯或朝或否，天子不能制。今陛下兴义兵，诛残贼，平定天下，海内为郡县，法令由一统，自上古以来未尝有，五帝所不及。臣等谨与博士议曰：‘古有天皇，有地皇，有泰皇，泰皇最贵。’臣等昧死上尊号，王为‘泰皇’，命为‘制’，令为‘诏’，天子自称曰‘朕’。”王曰：“去‘泰’，着‘皇’，采上古‘帝’位号，号曰‘皇帝’。他如议。”制曰：“可。”追尊庄襄王为太上皇。制曰：“朕闻太古有号毋谥，中古有号，死而以行为谥。如此，则子议父，臣议君也，甚无谓，朕弗取焉。自今已来，除谥法。朕为始皇帝，后世以计数，二世、三世至于万世，传之无穷。”
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秦国刚刚兼并天下，秦王对丞相、御史下令说：“昔日韩王进献土地，交出印玺，请求成为秦国的藩臣，不久就违背了约定，与赵国、魏国合纵反叛秦国，所以我发兵讨伐韩国，俘虏韩王。我认为这样做很好，或许可以平息战争。赵王派他的相国李牧前来缔结盟约，因此我归还赵国的质子。不久赵国违背盟约，在我国太原反叛，因此我发兵惩罚赵国，擒获赵王。赵国的公子嘉于是自立为代王，因此我发兵去消灭他。魏王最初约定向秦国臣服，不久又同韩国、赵国谋划袭击秦国，秦国的将士前往惩罚他们，于是将他们打败。楚王割让青阳以西的土地，不久也违背约定，攻打我国的南郡，因此我发兵惩罚楚国，擒获楚王，最终平定楚地。燕王昏庸悖乱，他的太子丹暗中指使荆轲为刺客，我派出将士惩罚他们，灭掉燕国。齐王采用后胜的计谋，断绝与秦国的往来，想要作乱，我派出将士惩罚他们，俘虏齐王，平定齐地。我凭借微不足道的身躯，发兵讨伐暴乱的国家，仰赖祖宗的威灵，六国之王都认罪伏法，天下完全平定了。现在不改变名号，就无法颂扬我所创建的功勋，从而流传后世。群臣商议帝王称号的事情。”丞相王绾、御史大夫冯劫、廷尉李斯等人都说：“从前五帝统治方圆千里的地方，外围侯服、夷服等地的诸侯是否前来朝贡，天子不能控制。现在陛下发动正义之师，诛杀乱臣贼子，平定天下，四海之内都成为郡县，法令都由陛下一人发布，自从上古以来也没有这样的事情，是五帝所不能比的。我们谨慎地与博士商议说：‘古时候有天皇，有地皇，有泰皇，泰皇最尊贵。’我们冒死献上尊号，大王称‘泰皇’，教命称‘制’，号令称‘诏’，天子自称‘朕’。”秦王说：“去掉‘泰’字，保留‘皇’字，采用上古时代的‘帝’这一称号，称为‘皇帝’。其他的都按照群臣商议的办。”制命说：“可以。”始皇追尊庄襄王为太上皇。制命说：“我听说远古时代有名号而没有谥号，中古时代有名号，死后根据他生前的行为追加谥号。像这样，就是儿子议论父亲，大臣议论君主，很没有意义，我不采取这种做法。从现在开始，废除追加谥号的做法。我是始皇帝，后世用数字计算，二世、三世一直到万世，永远传承下去。”
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始皇推终始五德【五德：战国时期形成的阴阳学说以五行为五德，以其生克关系为王朝更替之应。相克关系为金克木、木克土、土克水、水克火、火克金，相生关系为金生水、水生木、木生火、火生土、土生金。阴阳家认为黄帝至虞舜为土德，夏为木德，商为金德，周为火德，秦取代周，因此为水德，崇尚黑色。】之传，以为周得火德，秦代周德，从所不胜【胜：克。】，方今水德之始，改年始，朝贺【朝贺：官员在元旦入朝庆贺。】皆自十月朔。衣服、旄旌、节旗皆上【上：同“尚”，崇尚。】黑。数以六为纪【数以六为纪：五行中水的成数是六。《周易·系辞上》说：“天一，地二；天三，地四；天五，地六；天七，地八；天九，地十。”天一生水，地二生火，天三生木，地四生金，天五生土，以上为生数。地六成水，天七成火，地八成木，天九成金，地十成土，以上为成数。】，符、法冠【法冠：御史所戴之冠，又称獬豸冠。】皆六寸，而舆六尺，六尺为步，乘六马。更名河曰德水，以为水德之始。刚毅戾深，事皆决于法，刻削毋仁恩和义，然后合五德之数。于是急法，久者不赦。
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秦始皇大营宫室，选自《帝鉴图说》。
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丞相绾等言：“诸侯初破，燕、齐、荆地远，不为置王，毋以填【填：通“镇”，安定。】之。请立诸子，唯上幸许。”始皇下其议于群臣，群臣皆以为便。廷尉李斯议曰：“周文武所封子弟同姓甚众，然后属疏远，相攻击如仇仇，诸侯更相诛伐，周天子弗能禁止。今海内赖陛下神灵一统，皆为郡县，诸子功臣以公赋税重赏赐之，甚足易制。天下无异意，则安宁之术也。置诸侯不便。”始皇曰：“天下共苦战斗不休，以有侯王。赖宗庙，天下初定，又复立国，是树兵也，而求其宁息，岂不难哉！廷尉议是。”
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始皇推演五德终始的次序，认为周朝得到火德，秦朝取代周朝火德，根据火德所不能克制的属性，现在应该是水德的开始，改变每年开始的月份，规定官员入朝庆贺都在十月初一日。服饰、旌旗、符节都崇尚黑色。数字以六为标准，兵符、法冠都是六寸，而舆车宽六尺，以六尺为一步，用六匹马驾车。把黄河改名为德水，以此为水德的开始。始皇刚强坚毅，暴戾严苛，所有的事情都用法令来解决，刻薄而不讲仁爱道义，认为这样才能符合五德终始的规律。于是他急于推行法令，有的罪犯囚禁很长时间也没有被赦免。
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丞相王绾等人进言：“诸侯刚被消灭，燕、齐、楚等地非常偏远，如果不在那里设置藩王，就无法安定当地民众。请求立皇子为王，希望皇帝能够批准。”始皇把他们的建议下交群臣商议，群臣都觉得很适当。廷尉李斯提议说：“周文王和武王所分封的同姓子弟非常多，可是后代血缘关系变得疏远，彼此攻击好像仇敌，诸侯相互征战，周天子没有办法制止。现在四海之内仰赖陛下的神武威灵得以统一，都设置为郡县，皇子和功臣用国家的赋税来施以重赏，局面很容易控制。天下人没有二心，这就是使国家安定的办法。分封诸侯不妥当。”始皇说：“天下人都为战乱不止而苦恼，就是因为有诸侯的缘故。仰赖祖先的保佑，我刚刚平定天下，如果再去创建诸侯国，这是给自己树敌，再想要求得安宁，岂不是很难做到吗！廷尉的建议是正确的。”
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杨慎：“诸铭直致无华采，颇杂以吏牍，自是秦时一样文字。钟惺曰：诸铭横而大，在工拙之外求之。有韵之文，只如信口序事，妙手。”顾炎武：“按《国语》《吴越春秋》，句践栖会稽后，惟恐国人之不蕃，不复禁其淫佚，其风至六国末犹在。故始皇为之厉禁，着于石刻。繁而不杀，此亦防民正俗之意也。”
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分天下以为三十六郡，郡置守、尉、监。更名民曰“黔首”。大酺。收天下兵，聚之咸阳，销以为钟鐻jù【钟鐻：编钟和钟架。】，金人十二，重各千石，置廷宫中。一法度衡石丈尺，车同轨，书同文字。地东至海暨朝鲜，西至临洮、羌中，南至北乡户【北乡户：窗户朝北开的地方，指南方极远之处。乡，同“向”。】，北据河为塞，并阴山至辽东。徙天下豪富于咸阳十二万户。诸庙及章台、上林皆在渭南。秦每破诸侯，写放【写放：仿照。放，通“仿”。】其宫室，作之咸阳北坂上，南临渭，自雍门以东至泾、渭，殿屋复道【复道：楼阁间架设的信道。】周阁相属。所得诸侯美人钟鼓，以充入之。
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二十七年，始皇巡陇西、北地，出鸡头山，过回中。焉作信宫【信宫：长信宫。】渭南，已更命信宫为极庙，象天极。自极庙道通郦山，作甘泉前殿。筑甬yǒng道【甬道：两旁有遮蔽物的信道。】，自咸阳属之。是岁，赐爵一级。治驰道【驰道：供天子车马行驶的道路。】。
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始皇将全国划分为三十六个郡，每个郡设置守、尉、监。将民众改称为“黔首”。下令欢聚宴饮。始皇将全国的兵器都收聚到一起，集中在咸阳，熔化后铸成编钟，以及十二个金属人像，每一个重达一千石，放置在宫廷之中。始皇统一法令制度和度量衡标准，统一车轨的距离，统一用于书写的文字。秦朝的疆域向东到大海和朝鲜，向西到临洮、羌中，向南到窗户朝北开的地方，向北拒守黄河为屏障，从阴山一直到辽东。始皇将国内的十二万户沃尓沃迁徙到咸阳。秦国历代帝王的宗庙和章台、上林都在渭水以南。秦国每消灭一个诸侯国，就会模仿其宫殿样式，在咸阳以北山坡上建造一座，向南临近渭水，从雍门以东到泾水、渭水一带，宫殿复道和环廊连续不绝。始皇从诸侯国抢来的美女、钟鼓，都安置在这里。
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二十七年（前220年），始皇巡视陇西、北地，来到鸡头山，经过回中。于是在渭水以南建造了长信宫，不久又将长信宫改名为极庙，象征天上的北极星。从极庙铺设一条通往骊山的道路，又建造了甘泉宫前殿。修筑甬道，使咸阳与此相连。这一年，始皇赏赐天下人爵位一级。修筑驰道。
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二十八年，始皇东行郡县，上邹峄山，立石，与鲁诸儒生议，刻石颂秦德，议封禅望祭山川之事。乃遂上泰山，立石，封，祠祀。下，风雨暴至，休于树下，因封其树为五大夫。禅梁父。刻所立石，其辞曰：
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皇帝临位，作制明法，臣下修饬【修饬：行为端正，不违礼义。】。二十有六年，初并天下，罔不宾服。亲巡远方黎民，登兹泰山，周览东极。从臣思迹，本原【本原：推究。】事业，祗诵功德。治道运行，诸产得宜，皆有法式。大义休明，垂于后世，顺承勿革。皇帝躬圣，既平天下，不懈于治。夙兴夜寐，建设长利，专隆教诲。训经宣达，远近毕理，咸承圣志。贵贱分明，男女礼顺，慎遵职事。昭隔内外，靡不清净，施于后嗣。化及无穷，遵奉遗诏，永承重戒。
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于是乃并勃海【勃海：渤海。】以东，过黄、腄，穷成山，登之罘fú，立石颂秦德焉而去。
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二十八年（前219年），始皇向东巡视郡县，登上邹峄山，树立石碑，和鲁郡的儒生们商议，在石碑上镌刻颂扬秦朝功德的文字，还讨论了封禅和望祭名山大川的事情。于是始皇登上泰山，树立石碑，积土为祭坛，祭祀上天。下山的时候，忽然遭遇狂风暴雨，始皇在一棵树下休息，因此他封这棵树为五大夫。始皇在梁父山祭祀大地。在所立的石碑上镌刻文字，上面的碑文说：
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皇帝即位，立下制度，严明法令，臣下严谨整饬。二十六年时，刚刚兼并天下，没有人不臣服。亲自巡视远方黎民，登上泰山，便览东方边疆。随行大臣追忆往昔，探求事业本源，恭敬赞颂功德。皇帝治国有道，各项生产安排得当，所有事务都有规范。大义美善明晰，作为后世榜样，沿袭不要改变。皇帝贤明通达，已经平定天下，治国仍然不懈。每天早起晚睡，为国长远谋划，尤其重视教导。宣明政令，各地井然有序，遵循皇帝意志。等级分明，男女有别，谨慎遵行职事。内外不同，无不清静，恩泽施于后代。教化所及，没有穷尽，遵守皇帝诏令，永遵重要告诫。
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始皇于是沿着渤海向东，经过黄县、腄县，走到成山的尽头，登上之罘山，树立赞颂秦朝功德的石碑后离去。
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